今日淺看復合式分子泵的結構特點

　　復合式分子泵的結構特點：

　　復合式分子泵是渦輪分子泵與牽引分子泵的串聯組合，集兩種泵的優點于一體。泵在很寬的壓力范圍內 ((10-6 ～ 1Pa) 具有較大的抽速和較高的壓縮比，大大提高了泵的出口壓力。法國 Alcatle 公司生產的一種采用氣體靜承和動密封的復合分子泵，可以做到*無油，且不用前級泵直接向大氣中排氣。

　　在復合式分子泵的設計中，必須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關系。由于渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種結構的聯接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉變，使氣體分子的運動在聯接處由有序變成無序，至使返流增加，抽氣能力下降。因此，在設計時應在渦輪級和牽引級轉換處加上過渡級結構，以提高泵的抽氣性能。

　　隨著復合式分子泵的不斷改進，其應用領域越來越廣，在某些抽氣系統上可以替代擴散泵，縮短了系統的抽氣時間，并可獲得無油污染的清潔真空環境。

　　復合式分子泵的形式很多，按結構分，主要有兩種：一種是渦輪葉片與盤式牽引泵的串聯組合；另一種是渦輪葉片與筒式牽引泵的串聯組合。渦輪級主要用來提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的葉片形狀，級數在 l0 級以內。牽引級主要用來增加泵的壓縮比，提高泵的出口壓力。