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ZYFB-3600渦輪分子泵

是靠高速轉動的轉子攜帶氣體分子運動從而獲得超高真空的一種機械式真空泵，是由動葉輪與靜葉輪組合而成，比擴散泵節能、無油蒸汽污染，同時具有分子流時抽速大、壓縮比高的特點，是目前國內大抽速的分子泵，動葉輪采用變截面加工，其強度增加重量減少，使分子泵性能更可靠、穩定。

此分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應，由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比，因此該泵不需要冷阱和油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。其廣泛應用于電子、冶金、化工、科研及真空技術的各個領域。

ZYFB-3600渦輪分子泵

技術參數表

型號

ZYFB-3600

進氣口法蘭

400 ISO-K

排氣口法蘭

100 ISO-K

抽氣速率(L/S)(對空氣)

3600

壓縮比

N2

>108

H2

>6X102

極限壓強(Pa)

<2×10-6

額定轉速(rpm)

12600

使用軸承

進口陶瓷軸承

振動值

≤0.15μm

啟動時間(min)

<10

停機時間(min)

<20

建議采用的前級泵（L／S）

30

冷卻方式

水冷

冷卻水溫度（℃）

≤20

冷卻水流量(L/min)

1

泵體烘烤溫度（℃）

<80

環境溫度（℃）

5-40

安裝方向

垂直±5°

泵重量(kg)

≈100