擴散泵機組是一種高真空獲得設備，以油擴散泵為主泵，通常與閥門、水冷擋板、管道、機械真空泵（前級泵）等組成高真空抽氣系統。它利用從傘形噴嘴噴出的高速工作介質蒸汽射流，攜帶擴散到蒸汽射流里的被抽氣體，從而實現抽真空的功能。

　　擴散泵機組的工作原理基于分子撞擊擴散的過程。具體來說，由電加熱器（電爐）將裝在泵腔（油鍋）內的液態工作介質加熱，使其變成蒸汽。蒸汽通過安裝在泵腔里的泵芯噴嘴高速噴出，形成低密度、高速度的蒸汽射流。被抽氣體通過擴散進入蒸汽射流中，被下一級蒸汽射流帶走，最后由前級泵排出。而工作蒸汽到達水冷的泵壁后，冷凝成為液態沿著泵壁流回油鍋，這樣周而復始地工作，形成了擴散泵的正常抽氣過程。

　　擴散泵機組的應用范圍：

　　1、電子工業

　　真空鍍膜設備：擴散泵機組為電子管、X光管、半導體單晶硅的冶煉與提純提供高真空環境，確保鍍膜均勻性和材料純度。

　　電子產品排氣：在電子元件制造過程中，用于抽取真空腔體內的氣體，防止氧化和污染。

　　2、航空與航天

　　太空模擬試驗裝置：模擬太空環境，測試材料在極d真空條件下的性能，如熱防護材料、航天器表面涂層等。

　　粒子加速器：為加速器內部提供高真空環境，減少粒子與氣體分子的碰撞，提高加速效率。

　　3、冶金與材料科學

　　真空冶煉：在真空環境下熔煉金屬，避免氧化和雜質混入，提高金屬純度。

　　真空燒結：用于粉末冶金工藝，在真空條件下燒結金屬粉末，獲得高密度、高性能的金屬材料。

　　真空熱處理：對金屬材料進行真空淬火、回火等熱處理，改善材料力學性能。

　　4、化學與生物醫藥

　　高沸點物質蒸餾：在真空條件下蒸餾高沸點油脂、藥物成分等，實現提純和分離。

　　真空冷凍干燥設備：用于生物制品、藥品的冷凍干燥，保留活性成分，延長保質期。

　　5、光學與科研

　　光學儀器制造：為光學鏡頭、激光器等設備提供高真空環境，減少氣體分子對光路的干擾。

　　科研實驗：在物理、化學、材料科學等領域，用于獲取高真空度，支持前沿研究。