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雙氣動真空角閥：結構原理與技術優勢解析
雙氣動真空角閥以精準氣流控制和穩定適配性，應用于真空鍍膜、半導體制造、科研實驗等場景，為真空系統壓力調節與氣流阻斷提供支持。以下從結構原理、技術優勢與場景兩方面解析。
一、核心結構與工作原理：雙氣動驅動，精準控制
閥門采用 “雙氣動驅動 + 角式流道” 模塊化設計，保障真空穩定運行：
•核心結構：含不銹鋼閥體(角式流道減阻力)、雙氣缸執行機構(分控開關防卡滯)、耐真空密封組件(保氣密性)及控制接口。
•工作原理：通氣推動閥芯實現流道通斷，可連 PLC 控制器自動化控制，閥芯響應達毫秒級，滿足時效需求。
二、技術優勢與適用場景：適配復雜工況
依托結構優化，閥門適配多行業需求：
•技術優勢：10??Pa 至大氣壓寬真空適配；不銹鋼閥體耐腐；角式結構易安裝，組件標準化易維護。
•適用場景：半導體芯片工藝、真空鍍膜氣體調節、科研實驗真空控制，及光伏鍍膜、電子真空釬焊等。
后續將優化閥門密封與響應速度，開發多規格型號，提供更精準的真空控制方案。
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