擴散泵機組是一種高真空獲得設備，以油擴散泵為主泵，通常與閥門、水冷擋板、管道、機械真空泵（前級泵）等組成高真空抽氣系統。它利用從傘形噴嘴噴出的高速工作介質蒸汽射流，攜帶擴散到蒸汽射流里的被抽氣體，從而實現抽真空的功能。

　　擴散泵機組的工作原理基于分子撞擊擴散的過程。具體來說，由電加熱器（電爐）將裝在泵腔（油鍋）內的液態工作介質加熱，使其變成蒸汽。蒸汽通過安裝在泵腔里的泵芯噴嘴高速噴出，形成低密度、高速度的蒸汽射流。被抽氣體通過擴散進入蒸汽射流中，被下一級蒸汽射流帶走，最后由前級泵排出。而工作蒸汽到達水冷的泵壁后，冷凝成為液態沿著泵壁流回油鍋，這樣周而復始地工作，形成了擴散泵的正常抽氣過程。

　　擴散泵機組的保養方法：

　　一、定期清潔

　　目的：去除積累的灰塵、油污等雜質，防止影響泵的性能或導致泵損壞。

　　步驟：

　　使用專用的清潔劑和工具進行清潔。

　　避免使用腐蝕性強的化學試劑，以免損壞泵體。

　　二、檢查密封性

　　目的：確保擴散泵的密封性，防止泄漏。

　　步驟：

　　仔細檢查泵的各個密封部位，如密封圈、密封墊等。

　　如發現密封部件損壞或老化，應及時更換。

　　三、更換損壞部件

　　目的：防止因部件磨損、老化而影響泵的性能和使用壽命。

　　步驟：

　　對泵的各個部件進行全面檢查。

　　一旦發現損壞部件，應立即予以更換。

　　四、保持運行環境良好

　　目的：防止潮濕、高溫、粉塵等惡劣環境對泵造成損害。

　　步驟：

　　保持泵的運行環境干燥、清潔、通風良好。

　　定期對運行環境進行清理和檢查，確保其符合泵的運行要求。

　　五、冷卻水管理

　　目的：確保擴散泵在工作過程中冷卻水通暢，防止泵過熱。

　　步驟：

　　在擴散泵工作過程中，確保冷卻水平穩供應。

　　停止加熱后，待泵工作液完q冷卻后再關閉冷卻水。

　　六、氣體管理

　　目的：防止被抽送的氣體對泵造成損害。

　　步驟：

　　確保被泵送的氣體是干燥、無腐蝕性、無粉塵的。

　　在泵停止工作時，保持泵內真空狀態，防止泵油劣化。

　　七、長期存放管理

　　目的：防止擴散泵在長期存放過程中受到損害。

　　步驟：

　　如擴散泵暫時不使用，儲存時應保持真空狀態，防止泵油污染和腐蝕各部件。

　　將冷卻水套的剩余水吹干凈，并將室溫保持在10至40攝氏度之間。

　　八、定期檢查與維護

　　目的：確保擴散泵長期穩定運行。

　　步驟：

　　定期檢查泵油是否被還原或氧化，按相應要求進行加油或更換處理。

　　對零件及泵腔進行清洗和烘干處理，然后依次組裝，保持泵芯與泵底垂直，泵腔同心，各級噴嘴間隙按原要求調整。

　　在重新開啟真空設備之前，注意進行檢漏工作，確保連接處密封良好。